总装完成的第三天，整机联调，正式启动。

联调动员会上，苏宇只说了三句话：

"这台机器，装起来了，不算本事。跑起来，才叫本事。"

"联调这一关，咱们没有捷径，只有死磕。"

"死磕出什么结果？死磕出龙国自己的芯片。"

他顿了顿，目光扫过台下："任务倒计时，十四天。联调、流片，全在这十四天里。我苏宇，陪你们一起磕。"

"磕！"台下，齐声回应。

联调，正式开始。

"点火！"

"轰——"

光源模块的激光束，在真空腔体内炸开一团炽白的等离子体。极紫外光沿着光路，穿过层层叠叠的光学镜组，向着工件台方向汇聚。

"光源正常！545瓦，稳定输出！"

"光学链路，光传输效率78.2%，符合预期！"

"工件台，纳米级对准开始！"

控制屏上的数据流，如瀑布般滚动。王磊站在主控台前，眼睛一眨不眨。

"第一项测试——稳定运行八小时。"他按下计时键，"从现在起，八小时内，整机不能停。"

"如果能撑过八小时，"他对身边的工程师说，"咱们离成功，就只剩一半路了。"

第一个小时，一切正常。

第二个小时，依然稳定。

第三个小时，数据开始出现波动。

"光源功率，出现0.3%的抖动。"张工盯着屏幕，眉头皱起来，"幅度不大，但频率在加快。"

"先观察。"王磊沉声说，"0.3%的抖动，在可接受范围内。"

第四个小时，抖动加剧。

"功率抖动扩大到1.2%！"张工的声音变了，"照这个趋势，撑不到八小时！"

"停机排查！"王磊当机立断。

整机联调第一次测试，在第四个小时，宣告失败。

厂房里，一片沉默。

有人颓然坐在椅子上，有人低头盯着数据发呆。准备了这么久，盼了这么久，第一脚油门，就熄了火。

"都愣着干什么？！"王磊把记录本往桌上一拍，"一次失败就蔫了？光源首测失败的时候，咱们是怎么爬起来的？！"

"查！"他红着眼眶，"老子就不信，这个坎儿过不去！"

陈博士走过来，拍了拍他的肩膀："王总，先别急。功率抖动的规律，我看了——不是随机波动，是有周期性的。"

"周期性？"

"对。"陈博士在屏幕上圈出几段曲线，"每四小时一个周期，跟压电陶瓷的温升曲线完全吻合。这说明——问题出在温度上，不是出在原理上。"

"原理没错，那就有救。"王磊的精神，猛地一振。

"功率抖动……"苏宇走进控制室，"查出来了吗？"

"初步判断，是锡滴发生器的问题。"张工指着数据，"激光轰击锡滴的频率，和等离子体产生的频率，出现了相位漂移。频率一偏，功率就跟着抖。"

"相位漂移……"苏宇想了想，"是锡滴发生器的压电陶瓷，受热变形了？"

"对。"张工点头，"连续运行四小时，压电陶瓷的温度升高，形变量超出补偿范围。"

"那就在压电陶瓷外面，加一套主动温控。"苏宇说，"让它的温度，始终稳定在补偿曲线之内。"

"可加主动温控，要重新设计结构……"

"五天。"苏宇说，"我给你们五天，解决这个问题。"

"五天？！"张工一瞪眼，"苏总，重新设计一个温控结构，最快也要十天……"

"等不了十天。"苏宇摇头，"任务倒计时，只剩十四天了。"

"十四天里，要完成联调、流片——一天都浪费不起。"

"那也不能用五天去赌啊……"张工急了。

"张工，"苏宇看着他，一字一句，"我信你。"

"光学、光源、工件台，每一关，你们都是踩着"不可能"过来的。这一次——我也信，你们能行。"

张工怔了怔，最后咬牙："行！苏总，你把话放这儿了，我张工就是不吃不睡，五天之内，把温控结构给我造出来！"

"去吧。"苏宇拍拍他的肩膀。

联调倒计时第十三天。

张工带着光源组，连轴转了四天四夜，压电陶瓷主动温控结构，终于装上了试验台。

"二次点火！"

"轰——"

等离子体的白光，再度亮起。

这一次，功率曲线，稳稳地趴在545瓦上。

一小时。

两小时。

四小时。

六小时。

"八小时到了！"张工的声音，嘶哑却亢奋，"稳定运行八小时——通过！"

厂房里，爆发出一阵压抑已久的欢呼。

"第一项测试过了！"

"整机稳定运行，八小时零故障！"

苏宇也松了一口气。他看了看系统面板——任务倒计时，还剩十一天。

"接下来，"他说，"第二项测试——动态联调。"

"光源、工件台、光学、软件，四模块协同。模拟真实流片工况，连续运行十六小时。"

联调倒计时第十天。

第二项测试，开机两小时，出现新问题。

"工件台在高速移动时，光学链路的对焦出现滞后！"陈博士盯着屏幕，"滞后时间大约0.8毫秒。"

"0.8毫秒……"王磊沉吟，"这个滞后，会导致曝光位置偏差。0.5纳米的制程，0.8毫秒的滞后，足以让一片晶圆报废。"